DIN 50457-1-1999 半导体工艺材料的试验.用湿式化学法测定添加气体混合剂中成份的体积比例.第1部分:氢-乙硼烷混合物中的乙硼烷
作者:标准资料网 时间:2024-05-12 08:20:54 浏览:8161
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【英文标准名称】:Testingofmaterialsforsemiconductortechnology-Determinationofthevolumefractionofcomponentsindopantgasmixturesbywet-chemicalmethods-Part1:Diboraneinhydrogendiboranemixtures
【原文标准名称】:半导体工艺材料的试验.用湿式化学法测定添加气体混合剂中成份的体积比例.第1部分:氢-乙硼烷混合物中的乙硼烷
【标准号】:DIN50457-1-1999
【标准状态】:作废
【国别】:德国
【发布日期】:1999-11
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:分析;乙硼烷;容积测量;水;气体;水污染;化合物;半导体材料;半导体工程;材料试验;载气;掺杂气体;半导体;水分测定;含量;化学分析和试验;试样制备;体积;材料;试验设备;试验;测量;含量测定;掺杂剂;杂质;混合气体;氮;半导
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:3P;A4
【正文语种】:德语
【原文标准名称】:半导体工艺材料的试验.用湿式化学法测定添加气体混合剂中成份的体积比例.第1部分:氢-乙硼烷混合物中的乙硼烷
【标准号】:DIN50457-1-1999
【标准状态】:作废
【国别】:德国
【发布日期】:1999-11
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:分析;乙硼烷;容积测量;水;气体;水污染;化合物;半导体材料;半导体工程;材料试验;载气;掺杂气体;半导体;水分测定;含量;化学分析和试验;试样制备;体积;材料;试验设备;试验;测量;含量测定;掺杂剂;杂质;混合气体;氮;半导
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:3P;A4
【正文语种】:德语
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